技术

锐锋欧德的离子束溅射镀膜技术源于德国Cutting Edge Coatings GmbH（德国CEC）, 先进的 IBS镀膜技术，源于德国汉诺威。离子束溅射（IBS）镀膜技术沉积出来的薄膜在质量上和灵活度上超越常规的镀膜技术。IBS镀膜技术相对于其他的镀膜技术的主要优势有： 薄膜质量高：超致密、低损耗、低应力、和高激光损伤阈值等。

德国CEC的IBS技术相对于其他的IBS的独特优势是：能制备不同比例混合氧化物材料的薄膜，这是制造超低损失Rugate高难度复杂滤光片的先决条件之一。同时，这种创新性的混合溅射技术能够生成渐变折射率，减少膜层之间的界面和应力，在高激光损失阈值和低应力应用领域非常受欢迎。

德国CEC的离子束溅射镀膜技术，最先源于汉诺威激光中心。德国CEC的老板Dr.Kai Starke 在成立CEC之前，是汉诺威激光中心离子束溅射镀膜项目的团队带头人，德国CEC 的镀膜工程师也都是汉诺威激光中心的原班人马，在汉诺威激光中心的支持下，Dr.Kai Starke 于2007年在汉诺威成立了Cutting Edge Coatings Gmbh. 最初离子束溅射镀膜技术如下图所示：工件盘在真空室上部，射频离子源自下向上溅射靶材，此时靶材是有两个面，可放高低折射率两种不同靶材。

离子束溅射镀膜原理

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德国CEC的离子束溅射镀膜技术的独特优势之一是能够生产多种混合氧化物材料镀膜，这是生产渐变折射率和Rugate滤光片的先决条件。这种溅射混合靶材的新技术可以使离子束溅射沉积形成的薄膜具有更低的应力，更高的激光损伤阈值，更低的吸收，以及实现更复杂的膜系。其在激光薄膜应力领域非常受欢迎。此种混合溅射镀膜的原理就是利用区域靶材，同时混合溅射两种或者多种靶材，进而得到不同的折射率指数。

离子束溅射混合镀膜

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另外，德国CEC的离子束溅射镀膜系统配备先进的宽光谱光控-BBOM膜厚监控系统，并与镀膜过程操作控制电脑VISU一起使用。BBOM宽光谱光控，顾名思义，在镀膜过程中可以同时监控多个波段的膜厚，实时在线监控每层每秒膜厚，膜厚监控精度精确到几个纳米，并可以在线优化修改膜系，使一次性成功镀膜成为可能。这对于复杂膜系，比如多陷波滤光片等产品的镀制具有极大的意义。

BBOM 宽光谱光控系统

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 VISU 镀膜过程操作控制电脑

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德国CEC的离子束溅射镀膜设备可以实现高质量的薄膜，例如超低损耗和超低吸收薄膜，高激光损伤阈值，负滤光片，多陷波滤光片，Reguate 滤光片，激光薄膜等等。如果您对我们离子束溅射镀膜设备感兴趣，想试读IBS薄膜，请随时与我们联系。我们时刻准备着为您服务！