离子束溅射镀膜 ion beam sputtering IBS Coatings 青岛锐锋欧德 德国CEC

离子束溅射镀膜设备-德国CEC离子束溅射镀膜机 离子束溅射镀膜IBS-德国CEC Navigatior 1100真空镀膜机

 

产品

锐锋欧德的主要产品就是代理德国Cutting Edge Coatings GmbH (德国CEC)的离子束溅射镀膜设备 Ion Beam Sputtering Coatings System - NAVIGATOR IBS, 及其配件,并提供镀膜服务。离子束溅射镀膜是所有PVD物理气相沉积镀膜方法中,薄膜质量最好,最致密的方式。德国CEC的离子束溅射镀膜设备主要有以下四个型号,其目标是实现最高质量的镀膜工艺。 其产品范围从用于内部研发的小型手动涂布设备到具有用于工业批量生产的自动涂布程序的高度复杂的系统。

德国CEC的离子束溅射镀膜系统型号:

NAVIGATOR 2100

NAVIGATOR 1100 Standard

NAVIGATOR 1100 Load-lock

NAVIGATOR 1000 Customized

 

NAVIGATOR 2100 是最新款的离子束溅射IBS镀膜设备。其独特之处在于配备两个口径为600mm的工件盘,每个工件盘可单独承重 100kg 的基片, 这不仅让大口径工件盘离子束溅射镀膜成为可能,并成倍提高了生产产能。其均匀性不加Mask挡板即可实现在600mm口径内1%的均匀性。如果对此款设备感兴趣,请随时联系我们。

Navigator 2100 -双 D600mm

IBS Navigator 2100 Dual D600mm Substrate Palates

 

 

NAVIGATOR 1100 Standard 是德国CEC的标准款离子束溅射镀膜设备,其配有以一个口径为D400mm的工件盘,一个RF射频溅射3栅离子源,区域靶材可镀混合膜,真空系统和水冷系统及配套电柜等。其他款的设备可以在该基本款设备上升级。

Navigator 1100 - D400mm

IBS Navigator 1100 - Standard D400mm

 

 

 NAVIGATOR 1100 Load-Lock 是德国CEC在工业应用领域的明星产品,因为该款离子束溅射镀膜设备配有 Load-Lock 传输腔,这可以持续多炉连续镀膜而不用打开镀膜腔门,只需打开传输腔的小门即可。这样可以大大节约开真空室门的抽真空和排气的时间,同时可以保护真空室的真空环境,在小的传输腔可同时准备上盘工作,大大节约时间并提高产能。

Navigator 1100 -Load-lock

IBS Navigator 1100- load lock

 

 

NAVIGATOR 1100 Customized 是为客户定制款。该款镀膜机可以根据客户实际需求来定制,比如说双D350mm工件盘,加均匀性Mask挡板,双RF溅射离子源,真空室加热器,为特殊形状或长度的基片定制特殊的工件盘等等。德国CEC可以为客户量身定制特殊的IBS离子束溅射镀膜设备,请把您的需求告诉我们,我们时刻准备着为您服务。

Navigator 1100 -Customized

IBS Navigator 1100 - Customized

 

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离子束溅射镀膜设备-德国CEC离子束溅射镀膜机离子束溅射镀膜IBS-德国CEC Navigatior 1100真空镀膜机

NAVIGATOR IBS

IBS Navigator 1100 - Customized

NAVIGATOR IBS

离子束溅射镀膜设备-德国CEC离子束溅射镀膜机离子束溅射镀膜IBS-德国CEC Navigatior 1100真空镀膜机

离子束溅射镀膜设备-德国CEC离子束溅射镀膜机离子束溅射镀膜IBS-德国CEC Navigatior 1100真空镀膜机

IBS Navigator 2100 Dual D600mm Substrate Palates

IBS Navigator 1100 - Standard D400mm

IBS Navigator 1100- load lock

IBS Navigator 1100 - Customized

离子束溅射镀膜设备-德国CEC离子束溅射镀膜机离子束溅射镀膜IBS-德国CEC Navigatior 1100真空镀膜机

IBS Navigator 2100 Dual D600mm Substrate Palates

IBS Navigator 1100 - Standard D400mm

IBS Navigator 1100- load lock

IBS Navigator 1100 - Customized